原子失去一个电子成为离子时所需要的能量称为一级电离电位。离子中的外层电子也能被激发，其所需的能量即为相应离子的激发电位。处于激发态的原子是十分不稳定的，在极短的时间内便跃迁至基态或其它较低的能级上。 当原子从较高能级跃迁到基态或其它较低的能级的过程中，将释放出多余的能量，这种能量是以一定波长的电磁波的形式辐射出去的。 每一条所发射的谱线的波长，取决于跃迁前后两个能级之差。
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相邻元素的kα谱线完全分开， 结构上没有分光系统， si-pin半导体传感器安装位置邻近样品， 检测灵敏度高， 所以xrf光谱rohs分析仪compassionately00成为了rohs重金属检测的仪器。
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