探测器阵列：放置于焦平面，用于测量各波长像点的光强度。该探测器阵列可以是ccd阵列或其它种类的光探测器阵列。光谱仪的种类很多，分类方法也很多，根据光谱仪所采用的分解光谱的原理，可以将其分成两大类：---光谱仪和新型光谱仪。---光谱仪是建立在空间色散（分光）原理上的仪器；新型光谱仪是建立在调制原理上的仪器，esi，故又称为调制光谱仪。 [1] ---光谱仪依据其色散原理可将仪器分为：棱镜光谱仪、衍射光栅光谱仪、 [2] 干涉光谱仪。
当具有高能量的入射（一次）x射线与原子发生碰撞时，会---（待测样品的）原子结构的稳定性。处于低能量电子壳层（如：k层）的电子更容易被激发而从原子中逐放出来，电子的逐放会导致该电子壳层出现相应的电子空位，这时处于高能量电子壳层的电子（如：l层）会跃迁到该低能量电子壳层来补充相应的电子空位。由于不用电子壳层之间存在着能量差距，这些能量上的差以二次x射线的形式释放出来.
一台典型的光谱仪主要由一个光学平台和一个检测系统组成。包括以下几个主要部分：1. 入射狭缝: 在入射光的照射下形成光谱仪成像系统的物点。2. 准直元件: 使狭缝发出的光线变为平行光。该准直元件可以是一独立的透镜、反射镜、或直接集成在色散元件上，如凹面光栅光谱仪中的凹面光栅。3. 色散元件: 通常采用光栅，使光信号在空间上按波长分散成为多条光束。
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